アルシン(Arsine)
ヒ素と水素からなる無機化合物で、もっとも単純な水素化ヒ素です。半導体製造プロセスにおいて欠かせない材料ですが、極めて強い毒性と引火性を持つガスです。産業界では、その危険性から徹底した安全管理体制のもとで使用されています。
別名：水素化ヒ素、三水素化ヒ素、アルセニド
| ガス名 |
アルシン |
分子式
(化学式) |
AsH3 |
| 状態 |
気体（常温常圧） |
| 色 |
無色 |
| 臭気 |
極めて薄い場合はニンニクに似た不快な臭気（ただし、臭いを感じる濃度ではすでに致死量を大幅に超えているため、臭気による検知は不可能です） |
燃焼
範囲 vol% |
3.9% から 77.8% |
爆発等級 |
– |
発火度 |
– |
| 用途 |
- ・半導体製造（シリコンのドーピング剤、ガリウムヒ素半導体の原料）、有機ヒ素化合物の合成原料など。
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危険
情報 |
- ・極めて引火しやすく、爆発性の混合気体を形成します。自己分解を起こしやすく、加熱や光によってヒ素と水素に分解し、爆発的に燃焼することがあります。また、空気より重いため、漏洩すると床面に滞留しやすく大変危険です。
- ・アルシンは、その極めて高い毒性から「最恐の毒ガス」の一つに数えられます。半導体工場等で使用する際は、専用のガス検知警報器、除害装置、緊急遮断弁の設置が法的に義務付けられており、漏洩は絶対に許されない物質です。
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人体の
影響 |
- ・毒物及び劇物取締法において「毒物」に指定されているほか、特定化学物質障害予防規則の対象でもあります。極めて強力な溶血性毒物であり、吸入すると赤血球が破壊され、血尿、黄疸、腎不全を引き起こします。高濃度では即死の恐れがあり、低濃度でも頭痛、めまい、吐き気などの症状が現れます。
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爆発等級の分類
爆発等級は、爆発性ガスの標準容器による火災逸走を生ずるスキの最小値
爆発
等級 |
スキの奥行25mmにおいて火炎逸走を生ずるスキの最小値 |
| 1 |
0.6mmを超えるもの |
| 2 |
0.4mmを超え、0.6mm以下のもの |
| 3 |
0.4mm以下のもの |
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発火度の分類
発火度は、爆発性ガスの発火温度に従って、下表のように6等級に分類する。
| 発火度 |
発火温度 |
| G1 |
450℃を超えるもの。 |
| G2 |
300℃を超え450℃以下のもの。 |
| G3 |
200℃を超え300℃以下のもの。 |
| G4 |
135℃を超え200℃以下のもの。 |
| G5 |
100℃を超え135℃以下のもの。 |
| G6 |
85℃を超え100℃以下のもの。 |
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