ジエチルシラン(Diethylsilane)
ケイ素原子に2つのエチル基と2つの水素原子が結合した有機ケイ素化合物（オルガノシラン）の一種です。反応性の高いシラン（Si-H）結合を持っており、有機合成における還元剤や、半導体製造プロセスにおける薄膜形成の原料（前駆体）として非常に重要な役割を果たしています。極めて引火性が高く、取り扱いには高度な安全管理が求められる物質です。
別名：ジエチルシランガス（液体ですが蒸気圧が高いため）、二水素化ジエチルケイ素
| ガス名 |
ジエチルシラン |
分子式
(化学式) |
C4H12Si |
| 状態 |
液体（非常に揮発性が高く、沸点は約56度） |
| 色 |
無色透明 |
| 臭気 |
不快な刺激臭（シラン特有の臭気） |
燃焼
範囲 vol% |
– |
爆発等級 |
1 |
発火度 |
G1 |
| 用途 |
- ・半導体・電子デバイス製造（化学気相成長法：CVDによるシリコン系薄膜の形成）、有機合成における還元剤、ヒドロシリル化反応の原料、新材料開発の研究用試薬。
|
危険
情報 |
- ・極めて引火性の高い（引火点：約マイナス20度以下）液体および蒸気です。常温で容易に蒸発し、空気と混合して爆発性混合気体を形成します。シラン類は空気中で自然発火する性質を持つものがありますが、ジエチルシランはモノシラン（SiH4）ほど不安定ではないものの、加熱や酸化剤との接触により激しく燃焼・爆発する危険があります。水や湿気と反応して水素ガスを発生することがあります。燃焼時には二酸化ケイ素（白い煙状の微粉末）を生成します。
|
人体の
影響 |
- ・蒸気を吸入すると、喉の痛み、咳、頭痛、めまい、吐き気を引き起こします。高濃度では意識喪失や呼吸器系への深刻なダメージを招く恐れがあります。取り扱いの際は、防爆型の局所排気装置下で、防毒マスク、導電性の不浸透性保護手袋、保護眼鏡を必ず着用してください。
|
爆発等級の分類
爆発等級は、爆発性ガスの標準容器による火災逸走を生ずるスキの最小値
爆発
等級 |
スキの奥行25mmにおいて火炎逸走を生ずるスキの最小値 |
| 1 |
0.6mmを超えるもの |
| 2 |
0.4mmを超え、0.6mm以下のもの |
| 3 |
0.4mm以下のもの |
|
|
発火度の分類
発火度は、爆発性ガスの発火温度に従って、下表のように6等級に分類する。
| 発火度 |
発火温度 |
| G1 |
450℃を超えるもの。 |
| G2 |
300℃を超え450℃以下のもの。 |
| G3 |
200℃を超え300℃以下のもの。 |
| G4 |
135℃を超え200℃以下のもの。 |
| G5 |
100℃を超え135℃以下のもの。 |
| G6 |
85℃を超え100℃以下のもの。 |
|
ジエチルシラン(Diethylsilane)でお悩みならプロに相談!!
