ジメチルシラン(Dimethylsilane)
シラン（SiH4）の2つの水素原子がメチル基に置換された構造を持つ有機ケイ素化合物です。常温では無色の可燃性ガスとして存在し、半導体製造プロセスにおいてシリコン炭化物（SiC）薄膜や絶縁膜を形成するための原料ガス（前駆体）として非常に重要な役割を果たしています。
別名：なし
| ガス名 |
ジメチルシラン |
分子式
(化学式) |
C2H8Si |
| 状態 |
ガス（気体、沸点：約マイナス20度からマイナス19度） |
| 色 |
無色 |
| 臭気 |
不快な刺激臭（シラン特有の臭気） |
燃焼
範囲 vol% |
約1%からデータなし（類似のメチルシラン類に基づくと、極めて広い燃焼範囲を持つと推定されます） |
爆発等級 |
1（想定） |
発火度 |
G1 |
| 用途 |
- ・半導体・電子デバイス製造（CVD法によるSiC薄膜の形成、低誘電率層間絶縁膜の原料）、有機ケイ素化合物の合成中間体。
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危険
情報 |
- ・極めて引火性の高いガスです。空気と混合して広範囲の濃度で爆発性混合気体を作りやすく、漏洩時には爆発の危険が非常に高いです。空気中の酸素と反応して自然発火する性質を持つ場合があり、取り扱いには細心の注意が必要です。強力な酸化剤、水、アルコール、酸、塩基と激しく反応し、水素ガスを発生することがあります。燃焼や分解により、微細なシリカ（二酸化ケイ素）の粉塵や、一酸化炭素、二酸化炭素を発生します。
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人体の
影響 |
- ・刺激性および窒息性があります。ガスや液化したものに触れると、刺激、赤み、痛み、化学火傷を引き起こします。高濃度のガスを吸入すると、喉の痛み、咳、呼吸困難、頭痛、めまい、吐き気を引き起こします。また、空気中の酸素濃度を低下させるため、酸素欠乏による窒息の恐れがあります。取り扱いの際は、完全に密閉されたシステム内で、防爆型の排気装置を使用し、防毒マスク（または送気マスク）、保護手袋、保護眼鏡を必ず着用してください。
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爆発等級の分類
爆発等級は、爆発性ガスの標準容器による火災逸走を生ずるスキの最小値
爆発
等級 |
スキの奥行25mmにおいて火炎逸走を生ずるスキの最小値 |
| 1 |
0.6mmを超えるもの |
| 2 |
0.4mmを超え、0.6mm以下のもの |
| 3 |
0.4mm以下のもの |
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発火度の分類
発火度は、爆発性ガスの発火温度に従って、下表のように6等級に分類する。
| 発火度 |
発火温度 |
| G1 |
450℃を超えるもの。 |
| G2 |
300℃を超え450℃以下のもの。 |
| G3 |
200℃を超え300℃以下のもの。 |
| G4 |
135℃を超え200℃以下のもの。 |
| G5 |
100℃を超え135℃以下のもの。 |
| G6 |
85℃を超え100℃以下のもの。 |
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