ゲルマン(Germane)
ゲルマニウムの水素化物で、シラン（ケイ素水素化物）やメタンと同様の構造を持つ無機化合物です。半導体工業において極めて重要なガスであり、ゲルマニウム薄膜の形成や、光ファイバーの製造、特殊な半導体デバイスのドーピングなどに利用されます。非常に高い毒性と引火性を持ち、取り扱いには厳重な管理が必要です。
別名：四水素化ゲルマニウム、水素化ゲルマニウム
| ガス名 |
ゲルマン |
分子式
(化学式) |
GeH4 |
| 状態 |
気体 |
| 色 |
無色 |
| 臭気 |
特有の不快な刺激臭（刺激的なニンニク臭に似る） |
燃焼
範囲 vol% |
約0.5%から100%（非常に広範囲で、空気中で容易に爆発的燃焼を起こします） |
爆発等級 |
3（想定。極めて高い爆発危険性を持ちます） |
発火度 |
G1 |
| 用途 |
- ・半導体製造（エピタキシャル成長、CVD法による薄膜形成）、光ファイバーの原料、太陽電池の製造。
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危険
情報 |
- ・極めて引火性の高いガスです。空気と混合して広範囲の濃度で爆発性混合気体を形成します。
- ・自己燃焼性（自然発火性）を持つ場合があり、漏洩すると直ちに発火・爆発する危険があります。
- ・加熱や衝撃により分解し、水素ガスとゲルマニウム粉末に分離して激しく爆発することがあります。また、酸化剤と激しく反応します。
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人体の
影響 |
- ・極めて強い毒性があり、非常に危険です。吸入すると血液中の赤血球を破壊し（溶血作用）、重度の貧血、黄疸、腎不全を引き起こす恐れがあります。また、頭痛、めまい、吐き気、さらには意識障害や死に至ることもあるため、漏洩検知器の設置が不可欠です。
- ・取り扱いの際は、完全に密閉された専用の供給システムを使用し、自給式呼吸器や適切な保護具を着用してください。
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爆発等級の分類
爆発等級は、爆発性ガスの標準容器による火災逸走を生ずるスキの最小値
爆発
等級 |
スキの奥行25mmにおいて火炎逸走を生ずるスキの最小値 |
| 1 |
0.6mmを超えるもの |
| 2 |
0.4mmを超え、0.6mm以下のもの |
| 3 |
0.4mm以下のもの |
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発火度の分類
発火度は、爆発性ガスの発火温度に従って、下表のように6等級に分類する。
| 発火度 |
発火温度 |
| G1 |
450℃を超えるもの。 |
| G2 |
300℃を超え450℃以下のもの。 |
| G3 |
200℃を超え300℃以下のもの。 |
| G4 |
135℃を超え200℃以下のもの。 |
| G5 |
100℃を超え135℃以下のもの。 |
| G6 |
85℃を超え100℃以下のもの。 |
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