ヘキサクロロジシラン(Hexachlorodisilane)

ケイ素と塩素からなる無機化合物で、シラン（SiH4）の水素を塩素で置換し、さらにケイ素同士を結合させた構造を持ちます。半導体製造プロセスにおいて、窒化ケイ素（SiN）や酸化ケイ素（SiO2）の薄膜を形成するための重要な前駆体（材料ガス）として利用されています。水や湿気と激しく反応して塩化水素を発生する、非常に反応性の高い物質です。
別名：六塩化二ケイ素、HCDS

レンタル対象機種	ポータブルマルチガスモニター GX-6000(VOC/ppm)

ガス名	ヘキサクロロジシラン		分子式 (化学式)	Si₂Cl₆
状態	液体
色	無色透明
臭気	刺すような強い刺激臭（塩化水素由来）
燃焼範囲 vol%	-（ただし、分解時に発生する水素や、反応環境下での他ガスとの混合には注意が必要）	爆発等級	–	発火度	–
用途	・半導体製造（CVD法やALD法による薄膜形成）、高純度シリカの原料、化学合成原料。
危険情報	・ヘキサクロロジシランは、水との反応により有害な塩化水素を発生するため、日本の消防法においては直接の指定はないものの、その性質から「腐食性物質」および「有害物質」として厳重な管理が必要です。・非引火性ですが、熱的に不安定で、高温下では分解して有害なガスを発生します。また、腐食性が強く、多くの金属を侵します。
人体の影響	・腐食性および強い毒性があります。目・皮膚へ液体や蒸気が触れると、激しい痛み、赤み、重度の化学火傷を引き起こします。角膜損傷により失明の恐れもあります。・蒸気を吸入すると、鼻、喉、気道を激しく刺激し、咳、喉の痛み、呼吸困難を引き起こします。高濃度では肺水腫を招く恐れがあり、生命に危険を及ぼします。

爆発等級の分類
爆発等級は、爆発性ガスの標準容器による火災逸走を生ずるスキの最小値

爆発等級	スキの奥行25mmにおいて火炎逸走を生ずるスキの最小値
1	0.6mmを超えるもの
2	0.4mmを超え、0.6mm以下のもの
3	0.4mm以下のもの

発火度の分類
発火度は、爆発性ガスの発火温度に従って、下表のように6等級に分類する。

発火度	発火温度
G1	450℃を超えるもの。
G2	300℃を超え450℃以下のもの。
G3	200℃を超え300℃以下のもの。
G4	135℃を超え200℃以下のもの。
G5	100℃を超え135℃以下のもの。
G6	85℃を超え100℃以下のもの。

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