ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン(Hexafluoro-1,3-butadiene)
4つの炭素原子からなる1,3-ブタジエンのすべての水素原子（6個）がフッ素原子に置換された構造を持つ、完全フッ素化（ペルフルオロ）不飽和炭化水素の一種です。常温常圧では気体として存在します。水にはほとんど溶けませんが、多くの有機溶剤やフッ素系溶媒には一定量溶解します。分子内に2つの共役二重結合と高密度のフッ素原子を保持しているため、非常にユニークな反応性とプラズマ特性を示します。次世代のエレクトロニクス製造プロセスにおいて、極めて微細な回路を形成するためのエッチングガスとして注目されている物質です。可燃性があり、熱分解により極めて有害なフッ素化合物を発生するほか、吸入により人体に重大な健康障害を及ぼす危険なガスです。
別名：ヘキサフルオロブタジエン（略称：HFBD）、ペルフルオロ-1,3-ブタジエン、ペルフルオロブタジエン
| レンタル 対象機種 |
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| ガス名 | ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン | 分子式 (化学式) |
C4F6 | ||
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| 状態 | 気体 | ||||
| 色 | 無色 | ||||
| 臭気 | かすかに特有の甘いエーテル様の臭気（高濃度では不快な刺激を伴うことがあります） | ||||
| 燃焼 範囲 vol% |
約4.3%から18.0%前後（想定） | 爆発等級 | 1（想定） | 発火度 | G1 |
| 用途 |
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| 危険 情報 |
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| 人体の 影響 |
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爆発等級の分類 爆発等級は、爆発性ガスの標準容器による火災逸走を生ずるスキの最小値
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発火度の分類 発火度は、爆発性ガスの発火温度に従って、下表のように6等級に分類する。
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