ヘキサメチルジシラザン(Hexamethyldisilazane)

2つのトリメチルシリル基が窒素原子に結合した構造を持つ有機ケイ素化合物です。非常に優れたシリル化剤として知られ、化学合成における保護基の導入や、表面改質に利用されます。特に半導体製造プロセスにおいて、フォトレジストの密着性を高めるための表面処理（プライマー）として不可欠な物質です。
別名：HMDS、1,1,1,3,3,3-ヘキサメチルジシラザン、ビス(トリメチルシリル)アミン

レンタル対象機種	ポータブルマルチガスモニター GX-6000(VOC/ppm)

ガス名	ヘキサメチルジシラザン		分子式 (化学式)	C₆H₁₉NSi₂
状態	液体
色	無色透明
臭気	特有のアンモニア様の刺激臭
燃焼範囲 vol%	0.8%から16.3%前後（文献により多少の幅があります）	爆発等級	1	発火度	G1
用途	・半導体製造（ウエハ表面の疎水化処理・プライマー）、シリル化剤（医薬品・農薬合成における水酸基等の保護）、電子顕微鏡試料の乾燥、クロマトグラフィー用充填剤の表面処理。
危険情報	・引火点が約8度から15度前後で、常温で容易に引火し、空気と混合して爆発性混合気体を形成する、引火性の高い液体および蒸気です。・水や湿気と反応して加水分解し、アンモニアを発生します。加熱分解により窒素酸化物、一酸化炭素、二酸化炭素、シリカを発生します。
人体の影響	・人体に対して毒性があり、目・皮膚へ直接触れると、赤み、痛み、強い刺激を引き起こし、化学火傷を負う恐れがあります。また、加水分解により発生するアンモニアによる気道への刺激も伴います。

爆発等級の分類
爆発等級は、爆発性ガスの標準容器による火災逸走を生ずるスキの最小値

爆発等級	スキの奥行25mmにおいて火炎逸走を生ずるスキの最小値
1	0.6mmを超えるもの
2	0.4mmを超え、0.6mm以下のもの
3	0.4mm以下のもの

発火度の分類
発火度は、爆発性ガスの発火温度に従って、下表のように6等級に分類する。

発火度	発火温度
G1	450℃を超えるもの。
G2	300℃を超え450℃以下のもの。
G3	200℃を超え300℃以下のもの。
G4	135℃を超え200℃以下のもの。
G5	100℃を超え135℃以下のもの。
G6	85℃を超え100℃以下のもの。

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