ホスフィン(Phosphine)

ホスフィン(Phosphine)とは、、化学式 PH3で表される、リンと水素からなる無機化合物です。別名、リン化水素、水素化リンとも呼ばれます。

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対象機種
ガス名 ホスフィン 分子式
(化学式)
PH3
状態 気体
濃度が高い場合は赤褐色に見えることがある
臭気 特有の不快な臭い(腐った魚のような臭い)
燃焼
範囲 vol%
1.6 から 100 爆発等級 発火度
用途
  • ・半導体製造におけるドーピング剤として使用され、ケイ素をn形半導体にする目的などで用いられます。
  • ・有機化学反応において、還元剤や配位子として利用されることがあります。
危険
情報
  • ・空気中で自然発火する危険性があるため、火気厳禁であり、不活性ガス雰囲気下での取り扱いが求められます。
  • ・酸化剤、ハロゲン、金属硝酸塩など多くの物質と激しく反応し、火災や爆発の危険を生じることがあります。
人体の
影響
  • ・少量でも吸入すると生命に危険が及ぶため、厳重な換気と呼吸用保護具(自給式呼吸器など)の着用が必須です。
  • ・極めて毒性が高く、中枢神経系、心血管系、呼吸器系、消化管、肝臓などに影響を与えることがあります。

爆発等級の分類
爆発等級は、爆発性ガスの標準容器による火災逸走を生ずるスキの最小値

爆発
等級
スキの奥行25mmにおいて火炎逸走を生ずるスキの最小値
1 0.6mmを超えるもの
2 0.4mmを超え、0.6mm以下のもの
3 0.4mm以下のもの
  発火度の分類
発火度は、爆発性ガスの発火温度に従って、下表のように6等級に分類する。

発火度 発火温度
G1 450℃を超えるもの。
G2 300℃を超え450℃以下のもの。
G3 200℃を超え300℃以下のもの。
G4 135℃を超え200℃以下のもの。
G5 100℃を超え135℃以下のもの。
G6 85℃を超え100℃以下のもの。


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