スチビン(Stibine)
1つのアンチモン原子と3つの水素原子からなる、アンチモンの最も単純な水素化物(V族元素水素化物)の一種です。アンチモン化合物と酸や還元剤(水素化ホウ素ナトリウムなど)との反応や、アンチモン合金(亜鉛アンチモン等)の酸分解によって発生・生成されます。極めて高い毒性と可燃性・爆発性を持つ高圧・無機水素化物ガスです。水には溶けにくい(難溶)ですが、炭化水素やエタノールなどの有機溶剤に溶解します。半導体製造プロセスにおけるドープ用ガス(n型ドーパント)や高純度アンチモンのエピタキシャル成長用原料など、エレクトロニクス産業で利用されています。極めて熱的に不安定で自然分解しやすく、化学的毒性が高いため厳重な取り扱いが必要です。
別名:水素化アンチモン、三水素化アンチモン、アンチモンヒドリド
| ガス名 |
スチビン |
分子式 (化学式) |
SbH3 |
| 状態 |
気体 |
| 色 |
無色 |
| 臭気 |
強烈で非常に不快な特有の硫化水素様・ニンニク様・腐敗臭(極めて強い刺激臭) |
燃焼 範囲 vol% |
1.3%から88.0%前後 |
爆発等級 |
3 |
発火度 |
G1 |
| 用途 |
- ・半導体製造プロセス用ガス(シリコン等の半導体薄膜作成時のn型ドーパントガス)、高純度アンチモン薄膜製造用原料ガス(CVD法等)、有機アンチモン化合物の合成原料・化学分析用試薬。
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危険 情報 |
- ・極めて可燃性・引火性の高い高圧ガスであり、空気中で容易に爆発性混合気体を形成します。
- ・熱的に極めて不安定であり、常温であっても緩やかに、室温以上の加熱や光照射によって激しく分解し、金属アンチモンと水素ガスに発熱分解します。
- ・空気に触れると自発的に発火・爆発することがあります(自然発火性)。
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人体の 影響 |
- ・極めて高度な急性毒性(吸入毒性)、強力な溶血作用、腎臓・肝臓・中枢神経系への重篤な毒性障害を持っています。アルシン(SbH3と同族のAsH3)と極めて酷似した劇烈な毒性を示します。
- ・非常に毒性が高く、微量の気体を吸入しただけでも激しい溶血(赤血球の破壊)を引き起こします。吸入直後から数時間後に、頭痛、めまい、吐き気、嘔吐、腹痛、腰痛、黄疸、血尿(黒褐色尿)を引き起こします。重篤な場合は急速に急性腎不全、肝不全、心不全、肺水腫を引き起こし、致命的な状態に至るリスクが非常に高いです。
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爆発等級の分類
爆発等級は、爆発性ガスの標準容器による火災逸走を生ずるスキの最小値
爆発 等級 |
スキの奥行25mmにおいて火炎逸走を生ずるスキの最小値 |
| 1 |
0.6mmを超えるもの |
| 2 |
0.4mmを超え、0.6mm以下のもの |
| 3 |
0.4mm以下のもの |
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発火度の分類
発火度は、爆発性ガスの発火温度に従って、下表のように6等級に分類する。
| 発火度 |
発火温度 |
| G1 |
450℃を超えるもの。 |
| G2 |
300℃を超え450℃以下のもの。 |
| G3 |
200℃を超え300℃以下のもの。 |
| G4 |
135℃を超え200℃以下のもの。 |
| G5 |
100℃を超え135℃以下のもの。 |
| G6 |
85℃を超え100℃以下のもの。 |
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