テトラエトキシシラン(Tetraethoxysilane)

1つのケイ素原子に4つのエトキシ基が結合した有機ケイ素化合物(ケイ酸エステル)の一種です。四塩化ケイ素とエタノールの反応などによって製造されます。水にはほとんど溶けませんが、空気中や反応系内の水分(湿度)と反応して加水分解を受け、シラノール基を形成しながら縮合反応(ゾル-ゲル法)を起こしてシリカ(SiO2)薄膜やゲルを生成する顕著な特性を持っています。エタノール、ジエチルエーテル、ベンゼン、アセトンなどの各種有機溶剤に良く溶けます。ゾル-ゲル法の代表的な出発原料として、高純度シリカガラス、電子材料用絶緑膜・保護膜、耐熱・耐候性コーティング剤、接着性向上剤(シランカップリング剤原料)など多岐にわたる工業分野で広く利用されています。引火性のある可燃性液体であり、目や呼吸器への刺激性、加水分解時に生じるエタノールやシリカ微粒子による影響を持つため適切な取り扱いが必要です。
別名:ケイ酸テトラエチル、テトラエチルオルソシリケート、TEOS(テオス)、テトラエトキシシリコン、オルソケイ酸テトラエチル

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対象機種
ガス名 テトラエトキシシラン 分子式
(化学式)
C8H20O4Si
状態 液体
色 無色
臭気 特有の微かなエステル様・アルコール様の刺激臭(清涼感のある甘い香り)
燃焼
範囲 vol%
0.8%から5.9%前後 爆発等級 1(想定) 発火度 G1
用途
  • ・ゾル-ゲル法によるシリケート塗料・耐熱・耐候性コーティング剤原料、半導体・電子部品の絶縁膜(SiO2膜)形成用ガス/液体原料(CVD/SOD等)、高純度シリカガラス・石英ガラス製造原料、シランカップリング剤原料、耐薬品性バインダー、精密鋳造用バインダー、架橋剤。
危険
情報
  • ・引火点が約37度から45度前後(※閉鎖式)の、引火性の液体および蒸気です。
  • ・常温~加熱時において可燃性蒸気を発生し、火気、火花、静電気、高温の表面に接触すると引火・燃焼します。
  • ・燃焼や分解により、一酸化炭素、二酸化炭素、二酸化ケイ素(シリカ)の微粉末や有毒ガスを発生します。
人体の
影響
  • ・眼への強い刺激性、皮膚刺激性、呼吸器への刺激性、および吸入による毒性障害を持っています。
  • ・液体の飛沫や濃縮された蒸気に曝されると、眼粘膜を強力に刺激し、赤み、痛み、涙、角膜への損傷を引き起こす恐れがあります。
  • ・高濃度蒸気の大量吸入により、頭痛、めまい、吐き気、中枢神経抑制症状を生じるほか、体内で加水分解して生じたシリカが肺に沈着し障害を与える危険性があります。

爆発等級の分類
爆発等級は、爆発性ガスの標準容器による火災逸走を生ずるスキの最小値

爆発
等級
スキの奥行25mmにおいて火炎逸走を生ずるスキの最小値
1 0.6mmを超えるもの
2 0.4mmを超え、0.6mm以下のもの
3 0.4mm以下のもの
  発火度の分類
発火度は、爆発性ガスの発火温度に従って、下表のように6等級に分類する。

発火度 発火温度
G1 450℃を超えるもの。
G2 300℃を超え450℃以下のもの。
G3 200℃を超え300℃以下のもの。
G4 135℃を超え200℃以下のもの。
G5 100℃を超え135℃以下のもの。
G6 85℃を超え100℃以下のもの。


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