テトラメトキシシラン(Tetramethoxysilane)
ケイ素原子1個に4個のメトキシ基が結合した最もシンプルなシリケートエステル（オルソケイ酸エステル）化合物です。四塩化ケイ素とメタノールの反応などによって製造されます。常温常圧では無色透明で揮発性のある液体として存在し、特有のエステル臭を放ちます。水にはほとんど溶けませんが、空気中の湿気や水分の存在下で容易に加水分解を起こし、メタノールを放出しながらシリカ（SiO2）のゲルや微粒子を生成します。この高い反応性（ゾル-ゲル法）を利用して、半導体製造時の絶縁膜形成や高純度シリカ、コーティング剤の原料として広く使われています。一方で、蒸気を吸入すると体内の水分で加水分解が進み、最悪の場合は失明を引き起こすなど、極めて重篤な眼障害や毒性を持つため、取り扱いには非常に厳重な管理が求められます。
別名：テトラメトキシシラン、ケイ酸テトラメチル、テトラメチルオルソシリケート、TMOS、オルソケイ酸テトラメチル
| レンタル 対象機種 |
|
||||
|---|---|---|---|---|---|
| ガス名 | テトラメトキシシラン | 分子式 (化学式) |
C4H12O4Si | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 状態 | 液体 | ||||
| 色 | 無色 | ||||
| 臭気 | 特有のエステル様臭・微かなアルコール臭 | ||||
| 燃焼 範囲 vol% |
0.88%~23.8%前後 | 爆発等級 | 1 | 発火度 | G1 |
| 用途 |
|
||||
| 危険 情報 |
|
||||
| 人体の 影響 |
|
||||
|
爆発等級の分類 爆発等級は、爆発性ガスの標準容器による火災逸走を生ずるスキの最小値
|
発火度の分類 発火度は、爆発性ガスの発火温度に従って、下表のように6等級に分類する。
|
テトラメトキシシラン(Tetramethoxysilane)でお悩みならプロに相談!!
