テトラメチルゲルマニウム(Tetramethylgermane)
ゲルマニウム原子1個に4個のメチル基が共有結合した最もシンプルな有機ゲルマニウム化合物の一種です。常温常圧では無色透明で揮発性がきわめて高い液体として存在し、特有の石油様・ガソリン様の臭気を有します。水には溶けませんが、ジエチルエーテル、ベンゼン、アセトン、ヘキサンなどの一般的な有機溶媒には容易に溶解します。半導体工業や電子材料分野において、化学気相成長法（CVD）や原子層堆積法（ALD）等のプロセスで薄膜を形成するゲルマニウム源（前駆体）として極めて重要です。沸点が低く引火性が非常に高いため、常温でも容易に可燃性蒸気を発生させて火災・爆発のリスクをもたらします。また、燃焼や分解によって二酸化ゲルマニウムや有害なガスを排出するため、厳重な安全管理が求められます。
別名：テトラメチルゲルマニウム、テトラメチルゲルマン、テトラメチルゲルマニウム(IV)
| レンタル 対象機種 |
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| ガス名 | テトラメチルゲルマニウム | 分子式 (化学式) |
C4H12Ge | ||
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| 状態 | 液体 | ||||
| 色 | 無色 | ||||
| 臭気 | 特有の甘い石油様臭・ガソリン様臭 | ||||
| 燃焼 範囲 vol% |
1.8%~15.0%前後 | 爆発等級 | 1 | 発火度 | G1 |
| 用途 |
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| 危険 情報 |
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| 人体の 影響 |
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爆発等級の分類 爆発等級は、爆発性ガスの標準容器による火災逸走を生ずるスキの最小値
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発火度の分類 発火度は、爆発性ガスの発火温度に従って、下表のように6等級に分類する。
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