トリメチルシラン(Trimethylsilane)

ケイ素原子に3つのメチル基と1つの水素原子が結合した有機ケイ素化合物（オルガノシラン）の一種です。ケイ素-水素結合（Si-H結合）を持つため還元性や反応性に優れており、半導体・液晶製造プロセスにおけるプラズマCVD用の薄膜形成ガス（Low-k絶縁膜や炭化ケイ素系薄膜の原料）として非常に重要です。常温常圧では無色の極めて引火しやすい可燃性ガスとして存在します。
別名：トリメチルシラン、3TMS、Trimethylsilane

レンタル対象機種	ポータブルマルチガスモニター GX-6000(VOC/ppm)

ガス名	トリメチルシラン		分子式 (化学式)	C₃H₁₀Si
状態	気体
色	無色
臭気	特有の不快な甘い不快臭（窒息性の石油様・エーテル様臭）
燃焼範囲 vol%	1.4%~40.0%前後	爆発等級	1	発火度	G1
用途	・半導体・電子部品製造におけるCVD（化学気相成長）法用原料ガス（Low-k層間絶縁膜、SiC膜、SiCN膜等の成膜）、有機合成化学におけるヒドロシリル化反応試薬・還元剤。
危険情報	・極めて引火しやすい可燃性・発火性の高圧ガスです。条件（高温や高濃度）によっては空気中で自然発火する危険性があります。
人体の影響	・高濃度の吸入による窒息作用、中枢神経抑制作用、および皮膚・眼への刺激性が確認されています。・高濃度の蒸気を吸い込むと空気中の酸素が遮断され、酸素欠乏症（窒息）を引き起こすほか、頭痛、めまい、吐き気、眠気、意識障害などの中枢神経抑制症状を起こす危険があります。

爆発等級の分類
爆発等級は、爆発性ガスの標準容器による火災逸走を生ずるスキの最小値

爆発等級	スキの奥行25mmにおいて火炎逸走を生ずるスキの最小値
1	0.6mmを超えるもの
2	0.4mmを超え、0.6mm以下のもの
3	0.4mm以下のもの

発火度の分類
発火度は、爆発性ガスの発火温度に従って、下表のように6等級に分類する。

発火度	発火温度
G1	450℃を超えるもの。
G2	300℃を超え450℃以下のもの。
G3	200℃を超え300℃以下のもの。
G4	135℃を超え200℃以下のもの。
G5	100℃を超え135℃以下のもの。
G6	85℃を超え100℃以下のもの。

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